
在(zai)晶体管、集成电(dian)路(lu)生产中(zhong),纯(chun)水(shui)主(zhu)要(yao)用(yong)于(yu)清(qing)洗硅片(pian)(pian),清(qing)洗的(de)(de)(de)(de)(de)目(mu)的(de)(de)(de)(de)(de)在(zai)于(yu)清(qing)除(chu)表(biao)面污染杂质(zhi)(zhi),包括有(you)机物和(he)无机物,另有(you)少量用(yong)于(yu)药液配(pei)制(zhi),硅片(pian)(pian)氧化(hua)的(de)(de)(de)(de)(de)水(shui)汽(qi)源,部分(fen)设(she)(she)备的(de)(de)(de)(de)(de)冷却水(shui),配(pei)制(zhi)电(dian)镀(du)液等。集成电(dian)路(lu)生产过程中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)80%的(de)(de)(de)(de)(de)工序(xu)需要(yao)使用(yong)高(gao)纯(chun)水(shui)清(qing)洗硅片(pian)(pian),水(shui)质(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)好(hao)坏与集成电(dian)路(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)产品(pin)质(zhi)(zhi)量及(ji)生产成品(pin)率关系(xi)很大。河南万达(da)环(huan)保生产的(de)(de)(de)(de)(de)超纯(chun)水(shui)设(she)(she)备用(yong)于(yu)硅片(pian)(pian)生产等电(dian)子半导体行业,能满足(zu)客户(hu)的(de)(de)(de)(de)(de)用(yong)水(shui)要(yao)求。
电(dian)子半(ban)导体行(xing)业用(yong)纯水设备(bei)工(gong)艺介绍:
1.原水(shui)→原水(shui)加压泵(beng)→多介质过(guo)(guo)滤器→活(huo)性炭过(guo)(guo)滤器→加药装置(zhi)→精密过(guo)(guo)滤器→高压泵(beng)1→一级反(fan)渗(shen)透→中间水(shui)箱→高压泵(beng)2→二级反(fan)渗(shen)透→纯(chun)化水(shui)箱→纯(chun)水(shui)泵(beng)→紫外线杀菌器→微孔(kong)过(guo)(guo)滤器→用(yong)水(shui)点
2.原水(shui)→原水(shui)加(jia)压泵→多介质过(guo)滤(lv)器→活性(xing)炭过(guo)滤(lv)器→加(jia)药(yao)装置→精密(mi)过(guo)滤(lv)器→高压泵1一级(ji)反渗透机→中(zhong)间水(shui)箱→中(zhong)间水(shui)泵→EDI系统→纯(chun)化(hua)水(shui)箱→纯(chun)水(shui)泵→紫外线(xian)杀(sha)菌器→微孔过(guo)滤(lv)器→用水(shui)点
河南万达(da)环保电子半(ban)导体行业用纯水(shui)设(she)备产品特点:
1.连续运行(xing)产水质稳(wen)定品质更佳(jia)。
2.系统运行(xing)可(ke)靠性稳定。
3.运行成(cheng)本低。
4.占(zhan)地(di)面积小。
5.自动化程度高。
6.操作(zuo)及维护简单,无需接触酸碱(jian)。
7.使用(yong)安全及环境良(liang)好。
8.无污水排放,无环境污染。
河南万达(da)环保电子半导体行业(ye)用纯水设备产(chan)品参数(shu):
1.电导(dao)率:2-10μS/cm(25℃)
2.PH值(zhi):6.5-9
3.水温度(du):5~35℃
4.总硬(ying)度:<0.5ppm
5.有(you)机物:<0.5 ppm,TOC为零
6.氧化物:≤0.05ppm
7.铁、锰:<0.01ppm
8.二氧化(hua)硅:<0.05 ppm
9.二氧化碳:<5ppm