
在(zai)晶体(ti)(ti)管、集成电(dian)路(lu)生产(chan)中,纯(chun)水(shui)(shui)主要(yao)用(yong)于(yu)清洗(xi)硅(gui)(gui)(gui)片,清洗(xi)的(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)在(zai)于(yu)清除表面(mian)污染杂质(zhi)(zhi),包括有机(ji)物和无机(ji)物,另有少量(liang)(liang)用(yong)于(yu)药液(ye)配制,硅(gui)(gui)(gui)片氧化的(de)(de)(de)水(shui)(shui)汽源(yuan),部分设备(bei)的(de)(de)(de)冷(leng)却水(shui)(shui),配制电(dian)镀液(ye)等。集成电(dian)路(lu)生产(chan)过(guo)程中的(de)(de)(de)80%的(de)(de)(de)工(gong)序(xu)需(xu)要(yao)使用(yong)高纯(chun)水(shui)(shui)清洗(xi)硅(gui)(gui)(gui)片,水(shui)(shui)质(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)好坏与集成电(dian)路(lu)的(de)(de)(de)产(chan)品质(zhi)(zhi)量(liang)(liang)及生产(chan)成品率关系很大。河南万达(da)环保(bao)生产(chan)的(de)(de)(de)超纯(chun)水(shui)(shui)设备(bei)用(yong)于(yu)硅(gui)(gui)(gui)片生产(chan)等电(dian)子半(ban)导(dao)体(ti)(ti)行业(ye),能满足客户的(de)(de)(de)用(yong)水(shui)(shui)要(yao)求。
电子半(ban)导体行业用纯水设备(bei)工艺介绍:
1.原水→原水加压(ya)(ya)泵(beng)→多介质(zhi)过滤(lv)器(qi)(qi)→活性(xing)炭过滤(lv)器(qi)(qi)→加药装置→精密过滤(lv)器(qi)(qi)→高压(ya)(ya)泵(beng)1→一级反(fan)渗透→中(zhong)间水箱→高压(ya)(ya)泵(beng)2→二级反(fan)渗透→纯化水箱→纯水泵(beng)→紫外(wai)线杀菌器(qi)(qi)→微孔过滤(lv)器(qi)(qi)→用水点
2.原(yuan)水(shui)(shui)→原(yuan)水(shui)(shui)加(jia)压泵(beng)(beng)→多介质(zhi)过(guo)滤器(qi)(qi)→活性炭过(guo)滤器(qi)(qi)→加(jia)药(yao)装置→精密过(guo)滤器(qi)(qi)→高压泵(beng)(beng)1一级反渗透机→中间水(shui)(shui)箱→中间水(shui)(shui)泵(beng)(beng)→EDI系统→纯(chun)化水(shui)(shui)箱→纯(chun)水(shui)(shui)泵(beng)(beng)→紫外线(xian)杀(sha)菌器(qi)(qi)→微孔过(guo)滤器(qi)(qi)→用水(shui)(shui)点
河南万达环保电(dian)子半导(dao)体(ti)行业(ye)用纯水设备产品特点:
1.连续运行产(chan)水(shui)质稳定品质更佳(jia)。
2.系(xi)统运行可靠性稳定。
3.运(yun)行成本低。
4.占地(di)面(mian)积小。
5.自动(dong)化程度高(gao)。
6.操作(zuo)及维护(hu)简单,无需接触酸碱。
7.使(shi)用(yong)安全及环(huan)境(jing)良(liang)好。
8.无污水排放,无环(huan)境污染。
河南万达(da)环保电子半导(dao)体行业(ye)用纯水设备产品(pin)参数:
1.电(dian)导率:2-10μS/cm(25℃)
2.PH值:6.5-9
3.水温度:5~35℃
4.总(zong)硬度:<0.5ppm
5.有机物:<0.5 ppm,TOC为零
6.氧化物:≤0.05ppm
7.铁、锰:<0.01ppm
8.二(er)氧化硅:<0.05 ppm
9.二氧化碳:<5ppm