在晶体管、集(ji)成电路(lu)(lu)生产(chan)(chan)中，纯(chun)水主要用(yong)于(yu)清洗(xi)硅片，清洗(xi)的(de)(de)目的(de)(de)在于(yu)清除表面污染(ran)杂质，包括有机(ji)物(wu)和(he)无(wu)机(ji)物(wu)，另有少量用(yong)于(yu)药液(ye)配制，硅片氧化(hua)的(de)(de)水汽源(yuan)，部分设备的(de)(de)冷却水，配制电镀液(ye)等。集(ji)成电路(lu)(lu)生产(chan)(chan)过程中的(de)(de)80%的(de)(de)工序(xu)需(xu)要使用(yong)高纯(chun)水清洗(xi)硅片，水质的(de)(de)好(hao)坏与集(ji)成电路(lu)(lu)的(de)(de)产(chan)(chan)品质量及生产(chan)(chan)成品率关(guan)系很大(da)。河(he)南(nan)万达环保生产(chan)(chan)的(de)(de)超纯(chun)水设备用(yong)于(yu)硅片生产(chan)(chan)等电子半导体行业，能满足(zu)客户的(de)(de)用(yong)水要求。

电子半导体行业(ye)用纯水设备工(gong)艺介绍：

1.原(yuan)水→原(yuan)水加压泵(beng)→多(duo)介质过滤器→活性炭过滤器→加药装置→精密(mi)过滤器→高压泵(beng)1→一级(ji)反(fan)(fan)渗透→中间水箱→高压泵(beng)2→二级(ji)反(fan)(fan)渗透→纯(chun)化水箱→纯(chun)水泵(beng)→紫外(wai)线杀菌(jun)器→微孔过滤器→用水点
2.原(yuan)水→原(yuan)水加(jia)压(ya)泵(beng)→多介(jie)质(zhi)过滤器(qi)→活性炭过滤器(qi)→加(jia)药(yao)装置→精密过滤器(qi)→高压(ya)泵(beng)1一级反(fan)渗(shen)透机→中间水箱→中间水泵(beng)→EDI系(xi)统→纯化水箱→纯水泵(beng)→紫(zi)外线杀菌(jun)器(qi)→微孔过滤器(qi)→用(yong)水点

河南万达环保电子半(ban)导体行(xing)业用纯水(shui)设备产品特(te)点(dian)：

1.连续运行产水质(zhi)稳定(ding)品质(zhi)更(geng)佳。
2.系统(tong)运(yun)行可靠性稳定。
3.运行成(cheng)本低。
4.占(zhan)地面积小。
5.自动化程度高。
6.操(cao)作(zuo)及维(wei)护简单，无需接触酸碱。
7.使用安全及环境良好。
8.无污水排放，无环境污染。

河南万达环保电子半导体行(xing)业(ye)用纯水设备产(chan)品参数：

1.电导率：2-10μS/cm（25℃）
2.PH值：6.5－9
3.水温度(du)：5～35℃
4.总硬度：<0.5ppm
5.有机(ji)物：<0.5 ppm,TOC为零
6.氧化物：≤0.05ppm
7.铁、锰：<0.01ppm
8.二(er)氧化硅：<0.05 ppm
9.二氧化碳：<5ppm