
在(zai)晶体管、集(ji)成电(dian)(dian)路(lu)生(sheng)(sheng)(sheng)产中,纯水(shui)(shui)主要用(yong)于(yu)(yu)清(qing)洗硅(gui)片(pian),清(qing)洗的(de)(de)目的(de)(de)在(zai)于(yu)(yu)清(qing)除表面污染杂质,包括有机物和(he)无机物,另有少量用(yong)于(yu)(yu)药液配(pei)制,硅(gui)片(pian)氧化的(de)(de)水(shui)(shui)汽源,部分设备的(de)(de)冷却水(shui)(shui),配(pei)制电(dian)(dian)镀液等(deng)。集(ji)成电(dian)(dian)路(lu)生(sheng)(sheng)(sheng)产过程中的(de)(de)80%的(de)(de)工(gong)序需要使用(yong)高纯水(shui)(shui)清(qing)洗硅(gui)片(pian),水(shui)(shui)质的(de)(de)好(hao)坏(huai)与集(ji)成电(dian)(dian)路(lu)的(de)(de)产品质量及(ji)生(sheng)(sheng)(sheng)产成品率关系很大。河南万达环保(bao)生(sheng)(sheng)(sheng)产的(de)(de)超纯水(shui)(shui)设备用(yong)于(yu)(yu)硅(gui)片(pian)生(sheng)(sheng)(sheng)产等(deng)电(dian)(dian)子半导体行业,能(neng)满足客户(hu)的(de)(de)用(yong)水(shui)(shui)要求(qiu)。
电子半导体(ti)行业(ye)用纯水设备工艺介绍:
1.原水(shui)(shui)→原水(shui)(shui)加(jia)压(ya)(ya)泵(beng)(beng)→多介质过(guo)滤器(qi)(qi)(qi)→活性(xing)炭过(guo)滤器(qi)(qi)(qi)→加(jia)药装置→精密过(guo)滤器(qi)(qi)(qi)→高压(ya)(ya)泵(beng)(beng)1→一级(ji)反渗(shen)透→中间(jian)水(shui)(shui)箱→高压(ya)(ya)泵(beng)(beng)2→二级(ji)反渗(shen)透→纯化水(shui)(shui)箱→纯水(shui)(shui)泵(beng)(beng)→紫外线杀菌器(qi)(qi)(qi)→微孔过(guo)滤器(qi)(qi)(qi)→用水(shui)(shui)点(dian)
2.原水(shui)→原水(shui)加压(ya)泵(beng)(beng)→多介质过(guo)(guo)滤器(qi)→活性炭过(guo)(guo)滤器(qi)→加药装置→精密过(guo)(guo)滤器(qi)→高(gao)压(ya)泵(beng)(beng)1一级反渗(shen)透机→中间水(shui)箱→中间水(shui)泵(beng)(beng)→EDI系统→纯(chun)化水(shui)箱→纯(chun)水(shui)泵(beng)(beng)→紫(zi)外线杀菌器(qi)→微孔过(guo)(guo)滤器(qi)→用水(shui)点
河南(nan)万达(da)环(huan)保(bao)电子(zi)半导体(ti)行(xing)业用纯水设备(bei)产品特点:
1.连续运行产水质(zhi)稳定品质(zhi)更佳(jia)。
2.系统运行可(ke)靠(kao)性稳定。
3.运行成本低。
4.占地面积小。
5.自动化(hua)程(cheng)度高。
6.操作及维(wei)护(hu)简单,无需接触酸(suan)碱。
7.使用安全(quan)及环(huan)境良好。
8.无(wu)污水排放,无(wu)环境污染。
河南万达环保电子半导(dao)体行业用纯水设备产品参(can)数:
1.电导(dao)率:2-10μS/cm(25℃)
2.PH值:6.5-9
3.水温度(du):5~35℃
4.总硬(ying)度(du):<0.5ppm
5.有机物:<0.5 ppm,TOC为零
6.氧化(hua)物:≤0.05ppm
7.铁、锰:<0.01ppm
8.二氧化硅(gui):<0.05 ppm
9.二氧化碳:<5ppm